高纯电子级多晶硅洁净行车产品应用介绍
一、产品核心定位
高纯电子级多晶硅洁净行车是专为半导体及光伏行业设计的特种搬运设备，用于在9N-13N（99.9999999%~99.99999999999%）超高纯环境中运输多晶硅原料、硅棒及成品。其核心功能包括：
无尘搬运：满足ISO 1-3级洁净标准，动态颗粒管控≤0.1μm，避免引入金属杂质（如B≤2ppb、Fe≤20ppb）。
工艺协同：适配改良西门子法、硅烷流化床法（FBR）等生产工艺，支持还原炉拆棒、硅料投料等关键环节。
二、技术特性与创新
洁净设计
材质与结构：采用镜面抛光不锈钢或铝合金机身，全密封设计，防止颗粒积聚。
动态净化：集成实时微粒监测传感器，与洁净室空调系统联动调节。
智能控制
闭环搬运：伺服电机+PLC路径规划，实现硅棒AGV自动运输。
防静电处理：吊具配备静电消散模块，避免硅表面吸附杂质。
纯度保障
金属防控：通过GB/T 37049-2018标准检测，基体金属杂质总含量≤1.5ppbw。
工艺兼容性：支持13N级多晶硅生产，适配12英寸晶圆原料搬运需求。
三、典型应用场景
半导体级多晶硅生产
还原炉拆棒：在内蒙古鑫华半导体万吨级项目中，洁净行车用于高温还原炉硅棒的无尘转移。
硅料清洗：配合高纯氩气保护工艺（六化建技术），完成硅棒至清洗环节的封闭运输。
光伏与集成电路制造
流化床投料：协鑫科技FBR工艺中，行车实现颗粒硅自动化投料，纯度达11N以上。
晶圆厂原料运输：为8英寸、12英寸抛光片生产线提供封闭式物流支持。
四、行业突破与国产化进展
技术自主化：国产设备已打破国外垄断，如蒙缘六建万吨级项目采用的智能化行车集群（2024年4月建成）。
纯度极限挑战：襄阳企业技术助力多晶硅纯度达13N，行车需同步升级材料与洁净稳定性（2025年11月报道）。
五、选型与维护建议
匹配车间等级：ISO 4级车间需全封闭行车，ISO 6级可选半开放式设计。
维护要点：每月使用无尘润滑剂维护轨道，每季度测试定位精度与颗粒排放数据。
高纯电子级多晶硅洁净起重设备是电子级多晶硅产业链中的关键环节，直接关系到最终产品的纯度与良率，目前已成为国产半导体材料扩产的核心配套装备。
特种设备生产许可证
质量管理体系认证证书
iso9001
昆山特种设备协会分会长单位
昆山特种设备协会理事单位
13914965381
vip@kfqizhongji.com
江苏省昆山市横长泾路555号蒲公英科创产业园C栋
