半导体外延晶片十级超洁净厂房行车是专为半导体制造等高精度环境设计的特种起重设备，需满足ISO 1级（十级）洁净度标准。以下是其核心产品特点和技术规范：
一、核心性能特点
超低微粒控制
采用全封闭式防尘电机和密封轨道系统，配合特殊抗静电涂层，运行中微粒排放量＜0.1μm（符合ISO 14644-1 Class 1标准）
标配HEPA过滤系统，可集成至厂房整体空气净化循环
精密搬运能力
伺服驱动系统定位精度达±0.05mm，速度波动率＜1%
防震设计通过MIL-STD-810G认证，最大振动幅度＜3μm
材料与结构设计
主体采用316L不锈钢或阳极氧化铝合金，表面粗糙度Ra≤0.4μm
模块化快拆结构，所有连接处采用无螺纹卡扣设计
二、典型应用场景
碳化硅外延片生产：适配大湾区某重点SiC项目（合景建设EPC项目）
晶圆传输、光刻机维护等关键工序
支持12英寸晶圆盒（FOUP）的自动化搬运
三、定制化服务
可集成AMHS（自动物料搬运系统）接口
提供磁悬浮驱动选项（洁净度提升至ISO 0.5级）
能源回收系统（节能率≥30%，符合双碳要求）
四、行业认证
SEMI S2/S8合规性认证
德国TÜV洁净室设备专项认证
中国电子工程协会超净设备金标认证
目前该洁净室设备已应用于粤港澳大湾区多个半导体外延片重点项目，包括合洁科技承建的十级洁净厂房项目，其技术指标处于行业领先水平。最新版本已实现与MES系统的深度数据交互，支持生产全流程追溯。
特种设备生产许可证
质量管理体系认证证书
iso9001
昆山特种设备协会分会长单位
昆山特种设备协会理事单位
13914965381
vip@kfqizhongji.com
江苏省昆山市横长泾路555号蒲公英科创产业园C栋
