在半导体制造向3nm、2nm甚至更先进节点快速演进的今天，对生产环境的洁净度、设备运行的稳定性与搬运精度提出了前所未有的严苛要求。新型半导体专用行车（又称无尘车间天车、洁净室起重设备）作为晶圆厂AMHS（自动物料搬运系统）中的关键一环，正成为提升产线效率、保障良率的核心装备。
新型半导体专用行车是专为Class 1~Class 1000级洁净室环境设计的特种起重搬运设备，主要用于晶圆盒（FOUP）、光罩盒（Reticle Pod）及精密设备的自动/半自动搬运。其核心特点包括：
超低颗粒释放：采用不锈钢结构、无油润滑系统、密封电机及HEPA/ULPA过滤装置，确保运行中不产生微粒污染；
亚毫米级定位精度：集成高分辨率编码器、激光测距与视觉校准系统，实现±0.1mm以内的重复定位；
智能控制系统：支持与MES、EAP、OHT等工厂自动化系统无缝对接，实现任务调度、状态监控与故障预警；
模块化国产化设计：如新施诺第五代天车已实现核心部件（驱动、传感、控制）国产替代，降低供应链风险。
| 传统问题 | 新型半导体专用行车优势 |
|---|---|
| 搬运过程产生微尘，影响良率 | 全封闭结构+正压送风+无尘润滑，满足ISO 14644-1标准 |
| 定位偏差导致卡盒、掉片 | 多传感器融合+AI纠偏算法，提升对接成功率至99.99% |
| 依赖进口设备，维护成本高 | 国产化率超85%，本地化服务响应<24小时 |
| 系统集成复杂，扩展性差 | 支持OPC UA、SECS/GEM协议，轻松接入现有AMHS架构 |
前道晶圆制造：光刻区、刻蚀区、薄膜沉积区的FOUP自动转运
后道封装测试：晶圆框架、载具的洁净搬运
面板与化合物半导体：大尺寸基板、GaN/SiC晶锭的安全吊装
每月：检查轨道润滑状态，使用专用无尘润滑剂
每季度：测试定位精度，校准激光/视觉传感器
每年：更换防尘过滤器（如配备），全面检测电气安全
随着中国半导体产能持续扩张与设备国产化加速，高性能、高可靠性、高性价比的新型半导体专用起重机已成为洁净厂房建设的“标配”。选择具备洁净技术积累与智能制造经验的供应商（如昆峰重工、菲尔森等），将为您的先进制程产线筑牢物流基石。
如需进一步定制产品页、白皮书或视频脚本，也可继续告知具体应用场景（如12英寸晶圆厂、化合物半导体等）。
特种设备生产许可证
质量管理体系认证证书
iso9001
昆山特种设备协会分会长单位
昆山特种设备协会理事单位
