材质与工艺:采用304/316L不锈钢材质,表面经电解抛光处理,缝隙处采用无螺钉焊接工艺,杜绝金属碎屑残留。
动态密封技术:有效阻隔外部粉尘侵入,确保操作区域洁净度达ISO 5级(百级)标准,满足半导体车间对微粒控制的严苛要求。
低振动与降噪:伺服电机驱动系统结合柔性传动技术,将设备运行振动控制在0.5mm/s²以内,工作噪音≤55dB,适应电子车间声学环境。
静电中和:关键部件(如吊具、导轨)嵌入导电涂层,配合离子风枪实时中和静电,防止敏感元件吸附粉尘。
抗菌涂层:表面涂覆纳米抗菌涂层,可抑制99.9%的革兰氏阳性菌与真菌滋生,确保无菌环境。
快速部署:模块化设计支持免工具拆装,设备可在2小时内完成跨车间转移。
移动适配:万向脚轮配备电磁刹车与水平调节功能,确保设备在洁净区地面平稳移动,适应多品种小批量生产模式。
风淋过渡:可选配HEPA过滤风淋系统,当设备从普通区进入洁净区时,自动去除表面附着微粒,满足GMP规范。
无线遥控系统:支持多档速度调节(0.1-5m/min),配合激光定位辅助,实现毫米级定位精度。
易损品搬运:可选装真空吸附吊具或气动平衡装置,确保晶圆、芯片等易损品搬运过程零损伤。
多轴联动:通过PLC或工业机器人控制,实现复杂路径的精准执行,适用于多设备协同作业。
物联网集成:内置物联网模块实时监测电机温度、滤网压差等12项参数,异常预警功能将故障率降低60%。
电子台账管理:维护记录自动生成符合ALCOA原则的电子台账,简化审计流程,满足半导体行业对数据完整性的要求。
误差补偿:采用Elmo的EASII软件及高级误差补偿功能,动态补偿龙门同步偏差,减少电机内部摩擦与空气杂质。
快速响应:通过Platinum Maestro运动控制器协调多轴(如14轴)运动,循环时间低至1毫秒,支持第三方设备集成。
ISO 14644-1 compliance:半导体车间通常要求ISO 14644-1级(百级)或更高级别,该设备通过动态密封、HEPA过滤风淋系统等设计,满足晶圆搬运、设备维护等环节的洁净需求。
分区适用性:
光刻/沉积/刻蚀车间:ISO 5级(百级),确保关键工艺不受微粒污染。
封装车间:ISO 6-7级(千级至万级),适配封装材料的无尘搬运。
测试车间:ISO 7级(万级),支持性能测试的精准对接。
晶圆搬运:精准定位与低振动设计避免晶圆损伤,适用于光刻、沉积/刻蚀等关键工艺的物料转运。
设备维护:自带的洁净压缩空气接口可直接用于设备内部清洁,减少人工干预导致的污染风险。
封装与测试:在封装车间中,设备通过调整洁净等级与定位精度,支持封装材料的无尘搬运与测试环节的精准对接。
某知名半导体企业:
效率提升:引入移动式龙门架后,物料搬运时间缩短,生产效率提升。
成本控制:人工操作减少,降低劳动力成本与物料损耗。
质量保障:精确搬运使产品不良率下降,整体质量提高。
Elmo伺服系统应用:
LCD面板搬运:通过高级误差补偿功能与多轴联动控制,减少电机内部摩擦与空气杂质,适用于洁净间机器人对LCD面板的24/7连续搬运。
性能参数:运动整定时间缩短至10ms以下,静止抖动小于20nm,满足高精度需求。
高洁净全自动升降龙门架通过无尘化设计、高精度自动化控制及智能运维,成为半导体车间实现精准作业、提升生产效率与产品质量的关键设备。其模块化架构与洁净等级适配性,使其在晶圆搬运、设备维护等环节中发挥核心作用,并通过降低人为干预与污染风险,助力半导体企业达到ISO 14644-1等国际标准要求。随着半导体行业向工业5.0演进,该设备将成为高端制造领域不可或缺的竞争力要素。
特种设备生产许可证
质量管理体系认证证书
iso9001
昆山特种设备协会分会长单位
昆山特种设备协会理事单位
13914965381
vip@kfqizhongji.com
江苏省昆山市横长泾路555号蒲公英科创产业园C栋