确保百级洁净室行车（也称洁净室天车或洁净室起重机）的高洁净度，是维持洁净室整体环境达标的关键环节。百级洁净室要求每立方英尺空气中≥0.5μm的颗粒物不超过100个，因此对行车的设计、材料、维护和操作都有极其严格的要求。以下是确保其高洁净度的核心措施：
专用设备：必须选用专为洁净室设计的行车，而非普通工业行车改造。洁净室行车在设计之初就考虑了低发尘、易清洁和气流影响最小化。
流线型设计：所有部件（如梁、小车、吊具）应采用流线型、无死角设计，避免尖锐边角和凹陷，以减少颗粒物积聚，并便于清洁。
最小化表面积：设计应尽量简洁，减少不必要的结构，以降低表面积和潜在的污染源。
结构材料：
主体结构：通常采用304或316L不锈钢，因其耐腐蚀、不生锈、易清洁且发尘量低。
覆盖件：使用抗静电、低释气的工程塑料（如PVC、PC、PEEK）或不锈钢板。
运动部件：
导轨与滑块：使用不锈钢或特殊涂层导轨，配合低粉尘、长寿命的自润滑滑块（如石墨润滑或含油轴承），避免使用需要定期加油的部件。
电缆：采用洁净室专用无卤素、低释气、抗静电的扁平电缆（拖链电缆），并置于封闭的电缆拖链内，防止磨损产生颗粒。
密封与防护：电机、减速机等易产生颗粒的部件必须完全密封，并加装不锈钢或塑料防护罩。
驱动系统：优先选择无接触、无磨损的驱动方式，如磁悬浮或直线电机技术。若使用传统电机，必须完全密封，并通过皮带或齿轮等低磨损方式传动。
制动系统：避免使用会产生粉尘的摩擦式刹车，可采用电子刹车或特殊设计的无尘制动器。
抗静电处理：所有材料需进行抗静电处理（表面电阻10^6-10^9 Ω），防止静电吸附空气中的微粒，或放电损伤敏感产品（如半导体）。
减少振动：优化结构刚性和驱动系统，减少运行时的振动，防止松动部件产生微粒。
气流影响评估：行车的运行不应显著扰乱洁净室的单向流（层流）模式。设计时需进行CFD（计算流体动力学）模拟，确保其形状和运行轨迹对气流影响最小。
安装位置：尽可能安装在回风区或气流死角，避免横跨关键工艺区域的主气流路径。
运行速度：控制运行速度，避免高速移动产生湍流和扰动。
定期清洁：制定详细的SOP（标准作业程序），使用无尘布（如 polyester 或 microfiber）和经批准的清洁剂（如异丙醇、去离子水）对行车表面进行定期清洁。清洁频率根据使用强度和洁净度要求确定。
维护隔离：任何维护工作（如更换部件）都应在洁净室非生产时段进行，并尽可能将部件移出洁净室操作。若必须在室内维护，需搭建临时隔离罩，并使用吸尘设备。
使用专用工具：维护工具也必须是洁净室兼容的，避免引入外部污染。
记录与监控：建立维护和清洁日志，并定期进行粒子计数监测，评估行车对洁净度的实际影响。
操作人员必须经过严格培训，了解洁净室规范和行车操作规程。
操作时应动作平稳，避免急启急停，减少振动和气流扰动。
禁止在行车上放置无关物品。
粒子计数测试：在行车运行和静止状态下，使用粒子计数器在关键区域进行测试，验证其是否满足百级要求。
表面洁净度检测：定期对行车表面进行擦拭取样，检测表面颗粒和有机物残留。
性能校验：定期检查行车的运行精度、噪音和振动水平，及时发现潜在问题。
总结：
确保百级洁净室行车的高洁净度是一个系统工程，贯穿于选型、设计、材料、安装、操作、维护和监测的全生命周期。核心在于源头控制（选择低发尘材料和设计）、过程控制（规范操作和维护）和持续验证（定期监测）。任何环节的疏忽都可能导致整个洁净室环境的失效，因此必须给予高度重视。
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