微米级定位洁净起重机

昆峰专为半导体晶圆厂设计的微米级定位洁净起重机。采用主动隔振技术与伺服直驱系统，实现±0.1μm重复定位精度，满足ISO Class 1洁净度标准。完美适配光刻、蚀刻等敏感工艺，提供数字孪生监控与预测性维护。立即获取定制化防微振搬运方案。