一、核心应用场景
光刻车间物流搬运在光刻工艺中，洁净行车用于搬运玻璃基板、掩膜版等高精度材料，需确保搬运过程中无颗粒污染。例如，通过全封闭结构和防静电材料设计，避免材料表面吸附微粒，保障光刻机的曝光精度。
自动化产线协同与机械臂、AGV等设备联动，完成晶圆盒（FOUP）的传输、翻转及缓存。例如在LCD面板车间，洁净行车可精准定位基板，配合机械臂实现无人化操作，提升生产效率。
跨行业高洁净需求技术延伸至锂电池生产（电极材料搬运）、基因测序实验室（样本传输）等领域，均需百级洁净度（ISO Class 5）支持。
二、技术优势
超洁净环境适配
无尘设计：采用电抛光不锈钢或特殊涂层，减少材料表面颗粒脱落。
空气过滤系统：集成HEPA/ULPA过滤器，持续净化周围空气，维持车间百级洁净标准。
防静电措施：避免静电吸附尘埃，保护敏感元器件。
高精度与稳定性
定位精度可达±0.1mm，满足半导体制造对微米级工艺的要求。
减震设计降低振动干扰，确保搬运过程中晶圆无损伤。
智能化控制
支持MES/WMS系统对接，实现物料追踪与自动化调度。
通过PLC编程和工业机器人集成，优化搬运路径与效率。
三、定制化解决方案
国内厂商（如昆峰重工）提供深度定制服务，关键参数包括：
负载能力：适配从几公斤到数吨的不同物料。
洁净等级：覆盖百级至万级洁净需求。
轨道布局：根据车间空间设计悬挂式或地轨式方案。
四、行业发展趋势
与AI技术融合通过数据分析优化搬运路径，预测设备维护周期，降低停机风险。
绿色节能设计采用低能耗电机和再生制动技术，符合半导体工厂的可持续发展要求。
洁净行车已成为半导体车间智能化升级的核心设备，其技术迭代将持续推动芯片制造的精密度与良率提升。
半导体车间无尘行车应用非常广泛，半导体,平面显示器,光电子等洁净室,尽管做了很多工作,但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品产量,影响着制造成本和效益,影响产品的质量和可靠性.据国外工业专家估计,每年由于静电造成产品的损失平均在8-33%,还有人估计每年静电对电子工业毁损价值达100亿美元。洁净行车在洁净室内比较常见。
特种设备生产许可证
质量管理体系认证证书
iso9001
昆山特种设备协会分会长单位
昆山特种设备协会理事单位
